Техника вакуумског магнетронског распршивања је употреба женске, биполарне површине електроде са магнетним пољем електрона у помаку површине катоде, постављањем електричног поља циљне површине окомито на магнетно поље, електрон повећава удар, повећава брзину јонизације гаса, док високоенергетске честице гасе и губе енергију након судара и тако снижавају температуру подлоге, комплетан премаз на материјалу који није отпоран на температуру.