-Једна/два врата
Оквир и комора су израђени од угљеничног нерђајућег челика.
Свака врата имају прозор за инспекцију за визуелну контролу процеса.Зидови врата имају облогу од нерђајућег челика која се лако уклања ради одржавања.
- Прилагођена вакуумска комора
Комора омогућава лако уклањање унутрашњих облога од нерђајућег челика ради чишћења.
Пумпе стоје на његовом задњем делу.
Комора има низ малих прирубница за потребе мерења.
- Систем за пумпање високог вакуума
Дифузиона пумпа + Боостер пумпа + Механичка пумпа
-Мерење и контрола вакуума
Са металним Пирани мерачем + металним јонизатором
-Систем померања инвентара
- ПЛЦ управљачка јединица
-Алуминијумски систем за испаравање са трансформатором велике снаге
-Гвоздени оквир
Структура је разумна
Слој филма је уједначен
Квалитет формирања филма
Велика брзина пумпања, кратак радни циклус и висока ефикасност производње
Операција је згодна
Ниска потрошња енергије и стабилне перформансе
Број модела | ЕВ-1000 | ЕВ-1200 | ЕВ-1400 | ЕВ-1800 | ЕВ-2000 | Доступни су двовратни или двокоморни модел | |
Димензије вакуумске коморе (пречник * висина) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Материјал вакуумске коморе | Угљенични челик, СУС304 или СУС316Л | ||||||
Технологија рада | испаравање отпорности на вакуум са волфрамовим и алуминијумским филаментима, трансформатор за испаравање велике снаге | ||||||
Систем за пумпање | Дифузиона пумпа+механичке пумпе, бустер пумпа | ||||||
Време пумпања | Од атмосфере до 5,0*10-2Па мање од 8 минута | ||||||
Вацуум Лимит | 5,0*10-4 Па | ||||||
Радна температура | Собна температура | ||||||
Радни режим | Аутоматски или ручни режим, 10,4 инча ПЛЦ додирује екран | ||||||
Тотал Повер | 40-80кВ | 70-140кВ | |||||
Фоотпринт | 2*2 метра | 2*3 метра | 3*3 метра | 3*3 метра | 3*4 метра | 4*5 метара | 5*6 метара |
Ове јединице можете направити по мери | 1. Величина вакуумске коморе 2. Конфигурације пумпи | ||||||
Опциони инструменти | 1. Детектор цурења 3. Систем за таложење јона лука 4. Магнтрон систем за распршивање |